1、确保光刻相关工艺稳定；
2、能够熟练操作工艺设备并处理工艺异常，查找异常原因，提出具体整改措施并实施；
3、各类光刻工艺质量文件的编写与完善，监控产品数据、良率等并及时调整，保证产品质量；
4、配合研发部门进行新技术研发，完成研发部门的新技术转移工作，光刻相关工艺优化与深度开发；
5、对设备进行日常保养。